无油涡旋真空泵的维护标准是以抽洁净气体为基础制定的，抽水汽标准不同。
因此要注意下述各点：
①．抽水蒸汽泵的维护时间间隔必须缩短，因为水汽的温度、抽除量、抽除频率和水汽中物质成份对泵的工作都有影响。
②.抽水蒸汽时，要在规定温度下工作，进气温度必须低于50℃。当被抽气体温度高于50℃时，应当在无油涡旋真空泵与真空室之间的连接管路上安装冷却器或冷阱，以降低进气温度，使之低于50。进气温度高于50℃会对无油涡旋真空泵造成损害。
③．抽水汽时要加气镇阀，无油涡旋真空泵抽水蒸汽会导致水汽在泵内凝结。凝结的水汽会引起泵极限真空度降低，或者对泵造成损害。气镇阀不仅能抽水汽，还能维持极限真空。
气镇阀的使用注意事项
所谓气镇阀及其作用概念非常简单，就是在容积式真空泵的压缩室上开一小孔，装上一个调节阀。打开此调节阀启动无油涡旋真空泵，当动涡旋盘转动某一位置时，空气就通过小孔掺人压缩室以降低压缩比，从而使大部分水蒸气不至于凝结，和掺入的气体一起被排出泵外。这样就达到了抽水蒸汽的目的。而这个调节阀就是气镇阀。气镇阀的使用注意事项包括：
（1）抽水汽时，必须开启气镇阀抽气。如果气镇阀关闭抽气，水汽会在泵内积结，对泵造成损害。
（2）抽水汽后，必须在开启气镇阀状态下再抽气超过l小时，如果抽水汽后立即关闭气镇阀，水汽会在泵内积结，对泵造成损害。
（3）当给气镇阀口充氮气或干燥大气时，要将压力控制在大气压内，流量小于lONL/min,气压高会对泵造成损害。
（4）当被抽真空室内湿度高于60％时，—定要开启气镇阀。
（5）一定要在泵开启前、关闭后，开启和关闭气镇阀，千万不能在泵工作过程中关闭气镇阀。泵工作时改变气镇阀工作状态(开启或关闭)会使泵损坏，造成人身伤害。
抽水汽时，泵的启动步骤包括：
（1）关闭截止阀(以免开关泵时泵中积存的碎屑会被抽回真空室中(带漏气阀时要开启漏气阀))；
（2）打开气镇阀(拆下丝堵，换上气体过滤器即可)；
（3）打开泵开关；
（4）开启截止阀(检查确认真空泵已开启，使用漏气阀时要关闭漏气阀，抽真空室)。
抽水汽时，停泵步骤包括：
（1）关闭截止阀(避免泵中积存的碎屑被抽回真空室；
（2）关闭泵开关；
（3）关闭气镇阀(结束气镇阀工作时，拆下气体过滤器，用扳手轻轻拧上丝堵)。
检查与维护注意事项
（1）无油涡旋真空泵为防止碎屑在泵中沉积，每天抽大气几次，每次3～5秒。
（2）要注意高温，在泵足够冷却后，再进行检查与维护。停泵后立即维修可能引起烧伤。
（3）检查与维护之前一定要切断电源。否则可能引起电击或被旋转物伤害。
（4）如果安装与工作条件差、工作环境温度超过规定，请缩短维护间隔。环境温度是泵失效的主要影响因。标准维护间隔是以环境温度5～40℃，年平均温度25℃为基础制定的。
检查与维护内容要点
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故障诊断与排除：几年来用户在无油涡旋真空泵的使用过程中，陆续发现了各种问题，也总结了问题解决的方法。归纳起来，不外乎下述各种。如果出现故障，可以参照下表排除之。如果自己不能解决问题，可以联系卖泵的经销商和生产单位。同时笔者欢迎用户提出使用中的问题，以利于无油涡旋真空泵的进一步改进。
国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境，但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可*先进的批量国产产品。进口无油涡旋真空泵作为一种新产品，由于本文前述的价格、市场的开拓和用户的认识程度等原因，没有形成良性循环。这样，一方面是迫切的市场需求，另一方面从价格与技术双方面看没有合适的产品，造成了极大的市场缺口。
无疑问价格适中、性能可*的无油涡旋真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流,大力发展涡旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。
无油涡旋真空泵故障诊断表
为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技术手段存在的基础、共性问题，近年来已经不断有业内专家向国内介绍涡旋无油真空泵技术及其发展现状，国外涡旋无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。国内真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制无油涡旋真空泵生产等不同阶段的探索，只是由于技术基础、激励机制、研发手段、资金投入的限制，研发工作进展不是非常快。产品质量、稳定可靠性、以及技术推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此无油涡旋真空泵系列产品下一步产业化技术研发与市场开发是企业必须解决的两大问题。
随着研发手段、资金投入、市场开拓问题的解决，无油涡旋真空泵将会打开市场，从而提高整个真空获得行业的技术水平。成功的无油涡旋真空泵系列产品研发与市场开发模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鉴。